潔凈室的定義

微電子產(chǎn)業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)的對象為晶圓（Wafer），晶圓在無(wú)塵工廠(chǎng)（Fab）里被制造（Fabrication）出來(lái)，再進(jìn)行封裝測試等環(huán)節；這些生產(chǎn)過(guò)程對工廠(chǎng)空間環(huán)境要求相當嚴格，環(huán)境溫度、濕度、風(fēng)速、空氣微塵含量、靜電、光照等都會(huì )影響晶圓的良率Yield）；因此，需要一個(gè)特殊的生產(chǎn)環(huán)境，即無(wú)塵潔凈室（Clean Room），又稱(chēng)為無(wú)塵室、潔凈室或無(wú)塵車(chē)間。

潔凈室的分類(lèi)方法眾多，根據研究對象的不同可以分為工業(yè)級和生物級兩大類(lèi)。工業(yè)級主要用于微電子、航空航天、核工業(yè)等高科技行業(yè)，一般對空氣中懸浮粒子粒徑和濃度進(jìn)行控制；生物級主要用于生物病原體研究、醫學(xué)疫苗生產(chǎn)等，主要控制對象為醫學(xué)微生物 。

潔凈室對室內環(huán)境要求極高，需要對室內流動(dòng)空氣懸浮粒子濃度進(jìn)行嚴格控制，在潔凈室的使用過(guò)程中應減少對室內空氣懸浮粒子的引入、產(chǎn)生及滯留，這需要對潔凈室進(jìn)行定期清潔、保養、檢測；并對室內其他有關(guān)參數如潔凈度、室溫、濕度、靜電、氣壓等按要求進(jìn)行控制；不論潔凈室外界環(huán)境如何變化，潔凈室內均能維持恒定的室內環(huán)境參數性能，以滿(mǎn)足科研、生產(chǎn)使用需求 。